真空系統(tǒng)的核心是真空室，它是針對具體應(yīng)用量身定做的。它包括應(yīng)用并將其可靠地與外部分離或防止環(huán)境受內(nèi)部流程影響。不管干燥過程是否需要高真空環(huán)境，等離子體過程都需要在中或高真空環(huán)境下進(jìn)行，而表面研究也需要在高真空環(huán)境下進(jìn)行：真空室必須始終機(jī)械地承受其與大氣的壓差。

歐盟標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定真空容器不受任何基于設(shè)計(jì)和計(jì)算的具體準(zhǔn)則的影響。它們不是壓力設(shè)備（壓力設(shè)備指令2014/68/EU適用于具有內(nèi)部壓力大于500hPa的部件），而且根據(jù)機(jī)械指令2006/42/EC它們不屬于機(jī)器。然而，它們必須以安全可靠的方式進(jìn)行設(shè)計(jì)、計(jì)算和生產(chǎn)，并在交付前進(jìn)行測試。

圓柱管、球體、平板或模具配件壁厚的計(jì)算，如盤形底，可使用AD-2000手冊進(jìn)行。AD2000規(guī)定實(shí)際上是“壓力容器工作委員會(huì)"設(shè)計(jì)制定的，用于對壓力容器的計(jì)算，但也描述負(fù)載條件“外部過壓"。在這里，您將發(fā)現(xiàn)，例如，計(jì)算所需壁厚的方程包括圓柱管的“彈性屈曲"或“塑性變形"等。

由于矩形腔室或類似設(shè)計(jì)，必須檢查表面偏轉(zhuǎn)和出現(xiàn)的張力。如果它們過高，必須增加壁厚或?qū)υ搮^(qū)使用進(jìn)行加固，如通額外的焊接肋板。為此，可以使用采用有限元法(FEM)執(zhí)行機(jī)械計(jì)算的程序來優(yōu)化腔室設(shè)計(jì)。除允許的機(jī)械應(yīng)力外，也有必要檢查在負(fù)載條件“外部環(huán)境、真空內(nèi)部"下密封面是否互相保持齊平。如果密封面歪曲，可能發(fā)生泄漏，阻礙腔室的使用。

具有冷卻剖面和水冷法蘭的EUV光源室

腔室的基本形狀通常由應(yīng)用決定。對于腔體，如可能，應(yīng)該選擇圓柱管，它有利于物料的投放和系統(tǒng)的穩(wěn)定性。對于較小的公稱通徑，平底可密封管側(cè)，較大直徑應(yīng)該通過盤形底來密封，以限制物質(zhì)投入和腔室的質(zhì)量。示例：直徑為600mm的腔室需要平底，大約是盤形底壁厚的三倍。具有配件蓋的主法蘭允許進(jìn)入腔室，門鉸鏈的使用提高了易用性。外部的腔室支腳確保了穩(wěn)定性，環(huán)首螺絲或起重卸扣可實(shí)現(xiàn)安全運(yùn)輸。

如果腔室要進(jìn)行回火或內(nèi)部熱源導(dǎo)致腔室蓋過熱，必須提供腔室冷卻系統(tǒng)。這可通過焊接冷卻剖面或大面積墊板冷卻或甚至作為雙重容器來實(shí)現(xiàn)。

真空腔室