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半導(dǎo)體材料測量設(shè)備JZM-D30室溫探針臺(tái)的技術(shù)指標(biāo)

更新時(shí)間:2023-01-30 點(diǎn)擊量:722


概況:

錦正茂JZM-D30室溫探針臺(tái)的諸多設(shè)計(jì)都是﹡用的,探針臺(tái)的配置主要是根據(jù)用戶的需求進(jìn)行選配及設(shè)計(jì)。例如,要求的磁場型號(hào),電源型號(hào),磁場值,樣品臺(tái)的尺寸等,除此之外,該探針臺(tái)和我司自主研發(fā)的高精度雙極性恒流電源搭配使用,可以提高磁場的高穩(wěn)定性。因此,該類型的探針臺(tái)主要依據(jù)客戶的使用情況進(jìn)行設(shè)計(jì)優(yōu)化。

技術(shù)參數(shù):

①磁場型號(hào):EM3加長版

②電源型號(hào):JP10-40,優(yōu)于50ppm

③磁場值:>1000Gs@60mm間距

④磁場分辨率:優(yōu)于0.1Gs

⑤三維探針座:高精度三維探針座4個(gè)

⑥載物臺(tái)直徑:30mm

⑦Y軸位移-15mm至200mm,精度優(yōu)于10微米

⑧X軸位移±15mm,精度優(yōu)于10微米
⑨Z軸行程10mm,精度優(yōu)于20微米
⑩R軸旋轉(zhuǎn):360度粗調(diào),±5°范圍內(nèi)精調(diào),精調(diào)精度10'
?顯微鏡:體視顯微鏡,變倍范圍優(yōu)于10-150倍。

?機(jī)械加工精度優(yōu)于10微米。

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霍爾探頭技術(shù)參數(shù)


Lmm

Tmm

Wmm

Amm

有源區(qū)直徑

探頭方向

頻率范圍

滿量程

工作溫區(qū)

HALL-100

100

2.5

5.0

3.0

0.3

橫向

DC

3T

-40~125



使用說明





1.將霍爾探頭接入高斯計(jì)后面板的DB15接口;DC9V電源適配器插入高斯計(jì)后面板的供電接口;若使用計(jì)算機(jī)遠(yuǎn)程通信,還要用串口線將高斯計(jì)后面板的DB9接口連接到計(jì)算機(jī)串口。

2.DC9V電源適配器插入220VAC插座,高斯計(jì)即可上電工作,此時(shí)高斯計(jì)前面板紅色指示燈閃爍,液晶屏顯示磁場數(shù)據(jù)。

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3.探頭校零:將霍爾探頭遠(yuǎn)離磁場,觀察高斯計(jì)表頭顯示是否為零;若顯示不為零,需要將霍爾探頭進(jìn)行校零;將探頭遠(yuǎn)離磁場或放入零高斯腔中(推薦,此時(shí)將探頭前端平行伸入零高斯腔內(nèi),不要碰著腔壁),然后在計(jì)算機(jī)上打開串口調(diào)試工具,輸入“zero"指令給高斯計(jì),即可探頭校零。

4.探頭方向識(shí)別:霍爾探頭T-300為橫向探頭,磁場敏感元件位于探頭的前端約3mm位置;霍爾探頭手柄上有“錦正茂"標(biāo)記的那面對(duì)著磁場N極時(shí),高斯計(jì)顯示磁場值為正值;反之為負(fù)值。

5.儀器設(shè)置完成,進(jìn)入正常測量狀態(tài)。

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