探針臺(tái)應(yīng)用技術(shù)

三維磁場(chǎng)探針臺(tái)選型注意事項(xiàng)：

※大需要測(cè)幾inch的晶圓或者器件！是否需要測(cè)試破片或者單顆芯片！小的單顆芯片尺寸！

※探針臺(tái)機(jī)械精度要求多高！

※點(diǎn)測(cè)樣品的電極尺寸！100μm *100μm或60μm *60μm的pad，還是FIB制作的mini pad，或者ic內(nèi)部的metal線(xiàn)路！

※多需要幾個(gè)探針同時(shí)去點(diǎn)測(cè)！

※是否會(huì)用到探針卡測(cè)試！

※光學(xué)顯微鏡的小分辨率需要用到多少！

※顯微鏡方面，是否需要添加偏光片做LC液晶熱點(diǎn)偵測(cè)！

※探針點(diǎn)測(cè)時(shí)，對(duì)電流的要求是否達(dá)到100fa或者以下！低

電容要求是否要做到0.1pf！是否有射頻需求！

※接駁的測(cè)試儀器接口有哪些！

※測(cè)試環(huán)境時(shí)是否會(huì)需要加熱或者降溫！ 是否需要密閉腔體！

※對(duì)chuck的漏電要求怎樣！是否需要添加低阻抗chuck！

※是否需要防震桌！

※若添置防震桌，是否有壓縮空氣！

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